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[求助] Si上Au電極的制備已有9人參與

本人用噴金的方法在Si上濺射了一層厚度只有6~7nm的Au，用來做電極（這么薄是因?yàn)閷?shí)驗(yàn)中心只能噴這么厚，噴出來后可以看到表面有一層金屬色澤的金），打算形成較好的電極接觸。做了幾次發(fā)現(xiàn)用導(dǎo)電膠貼上后測(cè)電學(xué)性能效果不好，然后把導(dǎo)電膠撕掉后發(fā)現(xiàn)金很容易就脫落了。懷疑電學(xué)信號(hào)不好的原因是電極接觸不好，看了文獻(xiàn)和貼吧也知道最好先鍍一層Ti或Cr的粘附層，但基于實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的限制，不好實(shí)現(xiàn)粘附層的制備�，F(xiàn)在打算利用退火得到結(jié)合較牢固的Au電極接觸，不知道可不可行？因?yàn)閷?dǎo)師說直接用純Au做電極很難實(shí)現(xiàn)較好的歐姆接觸，現(xiàn)在考慮還要不要進(jìn)一步用Au電極做下去，如果退火可以的話，我就不用再找其他電極材料了，望各位大俠詳細(xì)指點(diǎn)，不甚感激~！

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1樓 2015-05-18 10:49:11

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【答案】應(yīng)助回帖

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7樓: Originally posted by gaokaoheima at 2015-05-18 13:59:31
我做的是個(gè)類似于場(chǎng)效應(yīng)晶體管的結(jié)構(gòu)，中間有個(gè)溝道，如果直接買鍍金硅片的話，那個(gè)溝道怎么空出來？...

不知道你做的是什么材料
精細(xì)結(jié)構(gòu)的話，一般是用光刻的方法做出圖案，然后在蒸鍍電極，溝道一般可以做到幾個(gè)微米；
如果溝道的寬度不是很窄的話，可以加工金屬鏤空掩膜版，把掩膜版附在硅片上在蒸鍍電極；不過這種一般只能做到0.1毫米

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14樓2015-05-18 15:39:59

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xiaoyueriyue

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如果沒有粘附層直接鍍金是很容易剝離的，最好先濺射鈦或者鉻的粘附層，再選擇鍍金

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27樓2016-09-10 07:22:38

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jennyge

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【答案】應(yīng)助回帖

感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1

我以前做也是粘附不好，很容易脫落。不知道你用來測(cè)什么性能，可不可以買一些現(xiàn)成的電極試試。

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家中老幺

2樓2015-05-18 10:52:47

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2樓: Originally posted by jennyge at 2015-05-18 10:52:47
我以前做也是粘附不好，很容易脫落。不知道你用來測(cè)什么性能，可不可以買一些現(xiàn)成的電極試試。

測(cè)I-V曲線，我的結(jié)構(gòu)較特別，類似于場(chǎng)效應(yīng)晶體管，源極和漏極在兩端，中間溝道要進(jìn)行特殊處理，不太好買

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3樓2015-05-18 10:58:10

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gaokaoheima: 金幣+2 2015-05-18 13:56:03

6-7nm形成不了很好的導(dǎo)電膜，更別說作為電極了，建議連續(xù)做個(gè)3,4次；另外關(guān)于可以先鍍2nm的Ti，這樣比較牢靠

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4樓2015-05-18 11:06:13

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gaokaoheima: 金幣+3, ★★★很有幫助 2015-05-18 13:58:14

沒戲，不打粘附地肯定粘不牢，幾個(gè)nm金顆粒都沒連成片，更別說連成膜了，導(dǎo)電性怎么會(huì)好。。這些參數(shù)都是大家摸索出來的，如果不打底，鍍這么薄就管用。。誰還會(huì)費(fèi)勁做復(fù)雜的流程。。沒有設(shè)備條件的話，不行直接買鍍金硅片算了，沒法湊合的

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5樓2015-05-18 13:20:13

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4樓: Originally posted by sidalixue at 2015-05-18 11:06:13
6-7nm形成不了很好的導(dǎo)電膜，更別說作為電極了，建議連續(xù)做個(gè)3,4次；另外關(guān)于可以先鍍2nm的Ti，這樣比較牢靠

做個(gè)3、4次后退火工藝怎樣處理？麻煩賜教，粘附層的話實(shí)驗(yàn)室沒條件制備

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6樓2015-05-18 13:57:29

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引用回帖:

5樓: Originally posted by gxytju2008 at 2015-05-18 13:20:13
沒戲，不打粘附地肯定粘不牢，幾個(gè)nm金顆粒都沒連成片，更別說連成膜了，導(dǎo)電性怎么會(huì)好。。這些參數(shù)都是大家摸索出來的，如果不打底，鍍這么薄就管用。。誰還會(huì)費(fèi)勁做復(fù)雜的流程。。沒有設(shè)備條件的話，不行直接買鍍 ...

我做的是個(gè)類似于場(chǎng)效應(yīng)晶體管的結(jié)構(gòu)，中間有個(gè)溝道，如果直接買鍍金硅片的話，那個(gè)溝道怎么空出來？

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之前做過單晶硅電池，個(gè)人覺得幾納米做導(dǎo)電膜太薄了吧，怎么也得200-300nm吧

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8樓2015-05-18 14:01:50

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8樓: Originally posted by 1142211017 at 2015-05-18 14:01:50
之前做過單晶硅電池，個(gè)人覺得幾納米做導(dǎo)電膜太薄了吧，怎么也得200-300nm吧

你有沒有用粘附層�。课乙部紤]去多噴幾次，盡量把Au搞后點(diǎn)。噴完金后你的退火怎么處理的？

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9樓2015-05-18 14:05:33

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或者說不需要粘附層，我把Au鍍厚點(diǎn)，大概鍍到100nm，然后退火，不知道這樣Au會(huì)不會(huì)和Si牢固點(diǎn)，形成好的電極接觸？

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10樓2015-05-18 14:12:46

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