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gaokaoheima銀蟲 (小有名氣)
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Si上Au電極的制備 已有9人參與
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| 本人用噴金的方法在Si上濺射了一層厚度只有6~7nm的Au,用來做電極(這么薄是因為實驗中心只能噴這么厚,噴出來后可以看到表面有一層金屬色澤的金),打算形成較好的電極接觸。做了幾次發(fā)現(xiàn)用導(dǎo)電膠貼上后測電學(xué)性能效果不好,然后把導(dǎo)電膠撕掉后發(fā)現(xiàn)金很容易就脫落了。懷疑電學(xué)信號不好的原因是電極接觸不好,看了文獻和貼吧也知道最好先鍍一層Ti或Cr的粘附層,但基于實驗平臺的限制,不好實現(xiàn)粘附層的制備,F(xiàn)在打算利用退火得到結(jié)合較牢固的Au電極接觸,不知道可不可行?因為導(dǎo)師說直接用純Au做電極很難實現(xiàn)較好的歐姆接觸,現(xiàn)在考慮還要不要進一步用Au電極做下去,如果退火可以的話,我就不用再找其他電極材料了,望各位大俠詳細指點,不甚感激~! |
薄膜制備與特性 |
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