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gaokaoheima銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
Si上Au電極的制備 已有9人參與
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| 本人用噴金的方法在Si上濺射了一層厚度只有6~7nm的Au，用來做電極（這么薄是因為實驗中心只能噴這么厚，噴出來后可以看到表面有一層金屬色澤的金），打算形成較好的電極接觸。做了幾次發(fā)現(xiàn)用導(dǎo)電膠貼上后測電學(xué)性能效果不好，然后把導(dǎo)電膠撕掉后發(fā)現(xiàn)金很容易就脫落了。懷疑電學(xué)信號不好的原因是電極接觸不好，看了文獻和貼吧也知道最好先鍍一層Ti或Cr的粘附層，但基于實驗平臺的限制，不好實現(xiàn)粘附層的制備。現(xiàn)在打算利用退火得到結(jié)合較牢固的Au電極接觸，不知道可不可行？因為導(dǎo)師說直接用純Au做電極很難實現(xiàn)較好的歐姆接觸，現(xiàn)在考慮還要不要進一步用Au電極做下去，如果退火可以的話，我就不用再找其他電極材料了，望各位大俠詳細(xì)指點，不甚感激~！ |
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 薄膜制備與特性 |
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sidalixue
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gaokaoheima
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5樓2015-05-18 13:20:13
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