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磁控濺射TiN的顏色問題
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| Sample Text反應(yīng)直流磁控濺射的TiN膜總是金屬藍(lán)灰色 是不是Ti沒有跟N反應(yīng) 如何改變工藝參數(shù) 使得兩者充分反應(yīng)呢 |

木蟲 (小有名氣)

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3樓: Originally posted by 大樹樂事 at 2013-08-21 09:05:50 氬氣流量200 氮?dú)?0 工作壓力0.8 濺射功率250 我覺得氮?dú)饬髁恳呀?jīng)挺高的了... 氬氣流量太大了。 Ar/N2=100/80試試看,另外,氣壓降到0.5Pa。 |

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至尊木蟲 (職業(yè)作家)
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