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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 硅刻蝕設備求推薦
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wj0702114081金蟲 (正式寫手)
學神的奴隸
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[交流]
硅刻蝕設備求推薦 已有6人參與
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最近在調(diào)研一些硅刻蝕的設備。但是對這方面不是很了解。 說一下我們的目的。 我們主要是想在氧化片上做二氧化硅的微結構，然后對襯底硅進行刻蝕形成二氧化硅的支撐。 也就是說，我們想刻蝕硅，但是又不想刻蝕表面的二氧化硅微結構。 實驗室自己用。 老板讓我調(diào)研一下ICP的相關設備。 不是很了解，求推薦一下。 看了目前幾個設備。 1、Oxford PlasmaPro 100 2、sentech ICP-RIE SI 500 3、微電子所的 ICP-8A 4、還有個日本的 Samco 牌的，沒查明白哪種型號能用。 還有在小木蟲搜到的帖子。http://www.gaoyang168.com/html/201304/5774852.html 里面提到 北方微電子 GSE 200系列 ICP 北京東方中科集成科技股份有限公司 電感耦合等離子體ICP干法刻蝕系統(tǒng)SI500（SENTECH） 北京創(chuàng)世威納科技 ICP-8100 型感應耦合等離子刻蝕設備 |
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yswyx 
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2樓2014-09-16 21:26:16
wj0702114081
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10樓2019-03-26 12:38:12
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