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wj0702114081金蟲 (正式寫手)
學(xué)神的奴隸
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[交流]
硅刻蝕設(shè)備求推薦 已有6人參與
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最近在調(diào)研一些硅刻蝕的設(shè)備。但是對這方面不是很了解。 說一下我們的目的。 我們主要是想在氧化片上做二氧化硅的微結(jié)構(gòu)，然后對襯底硅進(jìn)行刻蝕形成二氧化硅的支撐。 也就是說，我們想刻蝕硅，但是又不想刻蝕表面的二氧化硅微結(jié)構(gòu)。 實(shí)驗(yàn)室自己用。 老板讓我調(diào)研一下ICP的相關(guān)設(shè)備。 不是很了解，求推薦一下。 看了目前幾個(gè)設(shè)備。 1、Oxford PlasmaPro 100 2、sentech ICP-RIE SI 500 3、微電子所的 ICP-8A 4、還有個(gè)日本的 Samco 牌的，沒查明白哪種型號能用。 還有在小木蟲搜到的帖子。http://www.gaoyang168.com/html/201304/5774852.html 里面提到 北方微電子 GSE 200系列 ICP 北京東方中科集成科技股份有限公司 電感耦合等離子體ICP干法刻蝕系統(tǒng)SI500（SENTECH） 北京創(chuàng)世威納科技 ICP-8100 型感應(yīng)耦合等離子刻蝕設(shè)備 |
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4樓2015-01-20 10:28:08
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