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[交流] 硅刻蝕設(shè)備求推薦已有6人參與

最近在調(diào)研一些硅刻蝕的設(shè)備。但是對這方面不是很了解。
說一下我們的目的。
我們主要是想在氧化片上做二氧化硅的微結(jié)構(gòu)，然后對襯底硅進(jìn)行刻蝕形成二氧化硅的支撐。
也就是說，我們想刻蝕硅，但是又不想刻蝕表面的二氧化硅微結(jié)構(gòu)。
實(shí)驗(yàn)室自己用。

老板讓我調(diào)研一下ICP的相關(guān)設(shè)備。
不是很了解，求推薦一下。

看了目前幾個(gè)設(shè)備。
1、Oxford  PlasmaPro 100
2、sentech ICP-RIE SI 500
3、微電子所的 ICP-8A
4、還有個(gè)日本的 Samco 牌的，沒查明白哪種型號能用。
還有在小木蟲搜到的帖子。http://www.gaoyang168.com/html/201304/5774852.html
里面提到
北方微電子  GSE 200系列 ICP
北京東方中科集成科技股份有限公司  電感耦合等離子體ICP干法刻蝕系統(tǒng)SI500（SENTECH）
北京創(chuàng)世威納科技 ICP-8100 型感應(yīng)耦合等離子刻蝕設(shè)備

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1樓 2014-09-16 17:33:49

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yswyx

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wj0702114081: 金幣+2 2014-09-16 21:55:58

ICP的話，能刻的比較深。
如果要買進(jìn)口的，肯定是買STPS，沒別的選擇，你上面列出來的那幾家都不劃算，工藝爛，設(shè)備也差。代理是香港鐳射。
如果要買國產(chǎn)的，毫無疑問選微電子所。北方微的太貴，創(chuàng)世公司太爛，沒保證。

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2樓2014-09-16 21:26:16

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引用回帖:

2樓: Originally posted by yswyx at 2014-09-16 21:26:16
ICP的話，能刻的比較深。
如果要買進(jìn)口的，肯定是買STPS，沒別的選擇，你上面列出來的那幾家都不劃算，工藝爛，設(shè)備也差。代理是香港鐳射。
如果要買國產(chǎn)的，毫無疑問選微電子所。北方微的太貴，創(chuàng)世公司太爛， ...

SPTS的可能實(shí)在貴。。。
之前問過他家的二氟化氙刻蝕設(shè)備，100萬左右。
ICP估計(jì)更貴了。
我聯(lián)系一下問問吧。
謝謝。

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3樓2014-09-16 21:39:26

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n1304385070

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wj0702114081: 金幣+3, 謝謝 2015-01-20 11:36:37

北京創(chuàng)世威納的就別考慮了，我們實(shí)驗(yàn)室就有，特別不穩(wěn)定，總出問題，基本不能用

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4樓2015-01-20 10:28:08

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vivilee3609

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我們實(shí)驗(yàn)室用的Oxford PlasmaPro 100

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5樓2015-05-19 09:41:29

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撒蘭斯

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引用回帖:

微電子所，什么型號，多少錢？

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6樓2016-01-07 10:49:13

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小小弟

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引用回帖:

5樓: Originally posted by vivilee3609 at 2015-05-19 09:41:29
我們實(shí)驗(yàn)室用的Oxford PlasmaPro 100

您好，請問是你們課題組自己買的嗎

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7樓2018-12-20 15:54:24

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at2046

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emuch: 屏蔽內(nèi)容, 違規(guī)存檔, 違規(guī)發(fā)布聯(lián)系方式 2019-01-14 15:02:02

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8樓2019-01-14 10:44:39

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魯汶儀器，比利時(shí)合作公司，這兩年才發(fā)展起來的，你可以看一看，他家設(shè)備目前主推科研使用，價(jià)格也親民

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9樓2019-01-23 17:38:44

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百無二用

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牛津的公認(rèn)的好啊，實(shí)驗(yàn)用盡量買牛津ICP

發(fā)自小木蟲IOS客戶端

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10樓2019-03-26 12:38:12

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