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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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tang2014

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[求助] 請(qǐng)問(wèn)磁控濺射把腔室都有銅的顏色正常么？已有1人參與

我去鍍銅了，直流電源，由于距離比較遠(yuǎn)，電壓調(diào)到500v才會(huì)起輝，就是500w，壓強(qiáng)1pa，通氬氣 60sccm。上次鍍了20分鐘，把腔室也鍍成了銅色正常么？

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@yswyx

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1樓 2014-09-30 09:14:25

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tang2014

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5樓: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 12:42:54
根據(jù)Paschen定律，最小起弧電壓與壓力和板間距之積成單因素的因果函數(shù)關(guān)系：U=B*P*d/ln。其中：U是擊穿電壓（千伏）, d是電極距離（厘米），P是壓（托）。式中A和B在一定E/P范圍內(nèi)是常數(shù)。 γ為離子撞擊陰極時(shí)所發(fā) ...

非常感謝，我去試試，

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7樓2014-09-30 13:32:19

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peterflyer

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peterflyer

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tang2014: 金幣+5, ★★★★★最佳答案 2014-09-30 13:31:57

腔室時(shí)間長(zhǎng)了被鍍成銅色很正常，但短時(shí)間里就這樣了恐怕就有點(diǎn)問(wèn)題了。這說(shuō)明被打出來(lái)的銅顆粒向四處飛濺，真正濺射到基板上的恐怕就沒(méi)多少了，這樣一來(lái)浪費(fèi)太大，靶材的利用率也低。找找原因吧。

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2樓2014-09-30 09:50:24

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2樓: Originally posted by peterflyer at 2014-09-30 09:50:24
腔室時(shí)間長(zhǎng)了被鍍成銅色很正常，但短時(shí)間里就這樣了恐怕就有點(diǎn)問(wèn)題了。這說(shuō)明被打出來(lái)的銅顆粒向四處飛濺，真正濺射到基板上的恐怕就沒(méi)多少了，這樣一來(lái)浪費(fèi)太大，靶材的利用率也低。找找原因吧。

靶材離基片的距離大約14cm，會(huì)不會(huì)太遠(yuǎn)了，看那個(gè)起輝的綠光并沒(méi)有形成一個(gè)光柱，直對(duì)基片，而是很散在腔室。

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3樓2014-09-30 12:00:45

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而且功率沒(méi)法調(diào)，直到500w才能起輝，

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4樓2014-09-30 12:07:13

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