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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 光刻剝離問題
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weichuandu新蟲 (小有名氣)
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[交流]
光刻剝離問題 已有1人參與
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| 在石英基板上利用光刻顯影后留下了圖形，再經(jīng)過電子束鍍金屬氧化物薄膜，厚度約2.5微米，利用丙酮剝離時剝離不夠徹底，各位大神有沒有好的方法呢？ |
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2樓2014-11-15 10:41:11
weichuandu
新蟲 (小有名氣)
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3樓2014-11-15 21:19:28
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