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qazbnm鐵蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射鍍膜流量計(jì)無(wú)法控制的若干問(wèn)題？
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| 如題，磁控濺射機(jī)流量計(jì)無(wú)法控制流量，當(dāng)把氬氣瓶接上打開(kāi)閥門后，流量顯示的是“****”，然后分子泵就被沖停掉了；但是把氣瓶拔掉，通入空氣，流量計(jì)卻又能正常顯示，可以控制流量，這是什么原因？為什么壓力大了，流量計(jì)控制不了流量？ |
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阿Q~~
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
qazbnm: 金幣+4 2014-12-31 14:12:55
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
qazbnm: 金幣+4 2014-12-31 14:12:55
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你這個(gè)問(wèn)題應(yīng)該去問(wèn)Sputter設(shè)備生產(chǎn)商，讓工程師來(lái)給你解決技術(shù)問(wèn)題，事半功倍，你在論壇上等，根本不是很好的問(wèn)題解決辦法； 即使論壇里有真空設(shè)備工程師，也未必是你那個(gè)設(shè)備生產(chǎn)商的，每家設(shè)備都不同，根本就不是實(shí)事求是； 這個(gè)問(wèn)題就需要，專業(yè)人士解決，趕緊找出設(shè)備供應(yīng)商電話，解決問(wèn)題； |
7樓2014-12-30 11:50:02
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