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qazbnm鐵蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射鍍膜流量計(jì)無法控制的若干問題？
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| 如題，磁控濺射機(jī)流量計(jì)無法控制流量，當(dāng)把氬氣瓶接上打開閥門后，流量顯示的是“****”，然后分子泵就被沖停掉了；但是把氣瓶拔掉，通入空氣，流量計(jì)卻又能正常顯示，可以控制流量，這是什么原因？為什么壓力大了，流量計(jì)控制不了流量？ |
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3樓2014-12-28 13:18:04
阿Q~~
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2樓2014-12-28 11:14:05
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4樓2014-12-28 14:57:21
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5樓2014-12-28 18:06:25
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