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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控濺射鍍膜流量計無法控制的若干問題？
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qazbnm鐵蟲 (小有名氣)
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磁控濺射鍍膜流量計無法控制的若干問題？
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| 如題，磁控濺射機流量計無法控制流量，當把氬氣瓶接上打開閥門后，流量顯示的是“****”，然后分子泵就被沖停掉了；但是把氣瓶拔掉，通入空氣，流量計卻又能正常顯示，可以控制流量，這是什么原因？為什么壓力大了，流量計控制不了流量？ |
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qazbnm
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阿Q~~
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