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wenkicy新蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射后續(xù)熱處理溫度 已有2人參與
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| 在不銹鋼表面利用磁控濺射共同濺射Ti靶、Al靶,濺射完之后,我們不確定兩者是不是反應(yīng)了,想后續(xù)進行熱處理使兩者反應(yīng)。麻煩請教哪位大神后續(xù)的熱處理溫度應(yīng)該是多少?? |
薄膜制備與特性 |
木蟲之王 (文學(xué)泰斗)
peterflyer
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附圖是鈦和鋁的二元相圖。一般靶材中的鈦含量較少,鋁含量較多。因此適用于圖中右邊的情形。有圖可看出,在665度附近有一個二元包晶反應(yīng)存在。高于這個溫度,就會有部分的固體發(fā)生熔化了。因此熱處理的溫度要比這個溫度低一些,比如可以選擇熱處理溫度比此溫度低個30~100攝氏度試試。只要不發(fā)生過燒現(xiàn)象,溫度高些有利于原子間的相互擴散和形成合金。 未命名.JPG |
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