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wenkicy新蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射后續(xù)熱處理溫度 已有2人參與
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| 在不銹鋼表面利用磁控濺射共同濺射Ti靶、Al靶，濺射完之后，我們不確定兩者是不是反應(yīng)了，想后續(xù)進(jìn)行熱處理使兩者反應(yīng)。麻煩請(qǐng)教哪位大神后續(xù)的熱處理溫度應(yīng)該是多少？？ |
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 薄膜制備與特性 |
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附圖是鈦和鋁的二元相圖。一般靶材中的鈦含量較少，鋁含量較多。因此適用于圖中右邊的情形。有圖可看出，在665度附近有一個(gè)二元包晶反應(yīng)存在。高于這個(gè)溫度，就會(huì)有部分的固體發(fā)生熔化了。因此熱處理的溫度要比這個(gè)溫度低一些，比如可以選擇熱處理溫度比此溫度低個(gè)30~100攝氏度試試。只要不發(fā)生過燒現(xiàn)象，溫度高些有利于原子間的相互擴(kuò)散和形成合金。 未命名.JPG |
wenkicy2樓2015-05-13 21:56:44
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3樓2015-05-13 22:03:38
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