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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 求組磁控濺射的大神
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[求助]
求組磁控濺射的大神 已有3人參與
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| 本人剛剛學會磁控濺射，現(xiàn)在遇到了困難，想請教大神。我的問題入下：濺射功率為120w，濺射氣壓為0.4pa，濺射Sm靶時，發(fā)現(xiàn)其輝光是發(fā)散的，但結(jié)果還是濺射上了。心中有疑問，輝光為什么是發(fā)散了？這樣對濺射結(jié)果有什么影響？ |
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 薄膜制備與特性 |
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2樓2015-04-22 19:11:15
lwei_txj
木蟲 (正式寫手)
- 應助: 1 (幼兒園)
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- 帖子: 346
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- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
3樓2015-04-29 10:41:40
huihui2eat
銀蟲 (小有名氣)
- 應助: 15 (小學生)
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- 散金: 70
- 帖子: 184
- 在線: 66.2小時
- 蟲號: 3318737
- 注冊: 2014-07-11
- 專業(yè): 等離子體物理
4樓2015-05-06 09:04:51
|
Sm |
5樓2015-05-06 09:14:22
6樓2015-05-06 09:15:32
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