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qazbnm鐵蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射通氫氣容易爆炸嗎？
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| 如題？本人想做氫化納米硅薄膜，但不知網(wǎng)機器里面通氫氣有沒有爆炸危險？還有，磁控濺射機的維持泵一直在從艙里往外面抽氣，那氫氣不就被抽出來了嗎？那是不是更有危險？氫氣的同期速度最大為30ml/min。 |
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qazbnm: 金幣+3 2014-12-23 21:22:48
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
qazbnm: 金幣+3 2014-12-23 21:22:48
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你通氫氣的時候真空可能有問題，冷泵和分子泵都不能將氫氣抽出去，全靠硅等離子體的吸附，因此通H2氣，要慎重，計算好計量比，有磁控濺射a-Si的相關(guān)文獻(xiàn)嗎？ 可以參考 在磁控濺射腔室內(nèi)爆炸是不太可能的，但應(yīng)該注意氫氣管道泄露的問題，H2無色無味無毒，在房間里濃度較高，氫氣爆炸極限是4.0%～75.6%（體積濃度），且通風(fēng)速度不夠時，會發(fā)生爆炸，整個房間都爆炸，這就是為什么公共場所，如電影院和商場，不讓帶入氫氣球的原因。如果提高安全性，就購買（H2：Ar=1：9）的混合氣體。 百度百科：“由于氫氣比惰性氣體如氦氣廉價，因此市面上銷售的基本上都是氫氣球。氫氣與其他物體摩擦產(chǎn)生靜電及遇到明火時，容易發(fā)生爆炸或燃燒。另外，市面上賣的五顏六色的小販的氣球，大多都是沖氫氣的氫氣球，比較安全的是充氦氣的氦氣球�！� |
4樓2014-12-23 09:38:38
caoxiafei
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5樓2014-12-23 09:40:44
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6樓2014-12-23 18:25:46
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7樓2014-12-23 19:07:58
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