 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1495 | 回復(fù): 6 | ||||
| 當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖，點擊這里查看本話題的所有回帖 | ||||
qazbnm鐵蟲 (小有名氣)
|
[交流]
磁控濺射通氫氣容易爆炸嗎？
|
|||
| 如題？本人想做氫化納米硅薄膜，但不知網(wǎng)機器里面通氫氣有沒有爆炸危險？還有，磁控濺射機的維持泵一直在從艙里往外面抽氣，那氫氣不就被抽出來了嗎？那是不是更有危險？氫氣的同期速度最大為30ml/min。 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
數(shù)一英一271專碩（085401）求調(diào)劑，可跨
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
295求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
0856求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
材料學(xué)碩333求調(diào)劑
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
299求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
一志愿鄭州大學(xué)，080500學(xué)碩，總分317分求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
289求調(diào)劑
已經(jīng)有12人回復(fù)
-
070305高分子化學(xué)與物理 304分求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
0703化學(xué)調(diào)劑，求導(dǎo)師收
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
各位老師好，我的一志愿為北京科技大學(xué)085601材料專碩
已經(jīng)有5人回復(fù)
» 本主題相關(guān)商家推薦: (我也要在這里推廣)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 磁控濺射Fe靶的濺射電壓范圍
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 做射頻磁控濺射的金屬銦靶材短路，融化了
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 磁控濺射制備氮化鋁薄膜
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 磁控濺射鍍金屬膜，SEM可以看到晶粒大小嗎，還是用AFM？
已經(jīng)有24人回復(fù)
- 直流磁控濺射電壓變大
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 對靶直流磁控濺射制備ZAO膜打火嚴(yán)重
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 磁控濺射時，氬氣流速不同有什么影響？
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 磁控濺射靶面以外的地方有輝光正常嗎
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 磁控濺射設(shè)備真空問題
已經(jīng)有12人回復(fù)
- 磁控濺射雙靶與單靶在制備中的應(yīng)用
已經(jīng)有16人回復(fù)
- 實驗室的磁控濺射和XRD在非工作狀態(tài)下對人體有害嗎？
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 直流磁控濺射與射頻磁控濺射鍍銀
已經(jīng)有15人回復(fù)
- 磁控濺射&離子濺射
已經(jīng)有11人回復(fù)
- 進行磁控濺射時，如果不用外部加熱器，基體溫度為多少
已經(jīng)有19人回復(fù)
- 磁控濺射 鍍鋁
已經(jīng)有54人回復(fù)
- 磁控濺射能起輝，但不能沉積
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 磁控濺射做薄膜失敗了嗎
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 射頻磁控濺射鍍膜都可以通入哪些氣體
已經(jīng)有11人回復(fù)
- 除了玻璃、硅片。磁控濺射法對基材、襯底是什么要求？
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 磁控濺射鍍ZnO，大家真空度一般抽到多少？
已經(jīng)有18人回復(fù)
- 做磁控濺射的朋友請進
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 【求助】射頻磁控濺射的靶材一般能用幾次？或者多久？
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 【請教】請教，關(guān)于Ar磁控濺射的濺射效率問題
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 【求助】磁控濺射時的基板問題
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 【求助】磁控濺射偏壓為什么加不上
已經(jīng)有12人回復(fù)
caoxiafei
專家顧問 (著名寫手)
研發(fā)工程師-Topcon/HJT電池
-
專家經(jīng)驗: +112 - 應(yīng)助: 184 (高中生)
- 貴賓: 0.018
- 金幣: 5065
- 散金: 6
- 紅花: 23
- 帖子: 1216
- 在線: 434小時
- 蟲號: 832355
- 注冊: 2009-08-22
- 性別: GG
- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
- 管轄: 功能材料
7樓2014-12-23 19:07:58
peterflyer 
木蟲之王 (文學(xué)泰斗)
peterflyer
- 應(yīng)助: 20282 (院士)
- 金幣: 146189
- 紅花: 1374
- 帖子: 93091
- 在線: 7694.3小時
- 蟲號: 1482829
- 注冊: 2011-11-08
- 性別: GG
- 專業(yè): 功能陶瓷
2樓2014-12-22 22:08:24
鴻鵠北翔
金蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 4 (幼兒園)
- 金幣: 1471.8
- 散金: 200
- 帖子: 311
- 在線: 116小時
- 蟲號: 1471784
- 注冊: 2011-11-01
- 性別: GG
- 專業(yè): 光學(xué)和光電子材料
3樓2014-12-23 09:00:01
caoxiafei
專家顧問 (著名寫手)
研發(fā)工程師-Topcon/HJT電池
-
專家經(jīng)驗: +112 - 應(yīng)助: 184 (高中生)
- 貴賓: 0.018
- 金幣: 5065
- 散金: 6
- 紅花: 23
- 帖子: 1216
- 在線: 434小時
- 蟲號: 832355
- 注冊: 2009-08-22
- 性別: GG
- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
- 管轄: 功能材料
★ ★ ★ ★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
qazbnm: 金幣+3 2014-12-23 21:22:48
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
qazbnm: 金幣+3 2014-12-23 21:22:48
|
你通氫氣的時候真空可能有問題，冷泵和分子泵都不能將氫氣抽出去，全靠硅等離子體的吸附，因此通H2氣，要慎重，計算好計量比，有磁控濺射a-Si的相關(guān)文獻嗎？ 可以參考 在磁控濺射腔室內(nèi)爆炸是不太可能的，但應(yīng)該注意氫氣管道泄露的問題，H2無色無味無毒，在房間里濃度較高，氫氣爆炸極限是4.0%～75.6%（體積濃度），且通風(fēng)速度不夠時，會發(fā)生爆炸，整個房間都爆炸，這就是為什么公共場所，如電影院和商場，不讓帶入氫氣球的原因。如果提高安全性，就購買（H2：Ar=1：9）的混合氣體。 百度百科：“由于氫氣比惰性氣體如氦氣廉價，因此市面上銷售的基本上都是氫氣球。氫氣與其他物體摩擦產(chǎn)生靜電及遇到明火時，容易發(fā)生爆炸或燃燒。另外，市面上賣的五顏六色的小販的氣球，大多都是沖氫氣的氫氣球，比較安全的是充氦氣的氦氣球�！� |
4樓2014-12-23 09:38:38
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 材料學(xué)碩333求調(diào)劑 +10 | 北道巷 2026-03-24 | 10/500 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 305求調(diào)劑 +6 | RuiFairyrui 2026-03-28 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 347求調(diào)劑 +3 | 山頂見α 2026-03-25 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0703本科鄭州大學(xué)求調(diào)劑 +3 | nhj_ 2026-03-25 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 286求調(diào)劑 +12 | PolarBear11 2026-03-26 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 291求調(diào)劑 +6 | HanBeiNingZC 2026-03-24 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 275求調(diào)劑 +10 | jjjjjjjjjjl 2026-03-27 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 一志愿211院校 344分 東北農(nóng)業(yè)大學(xué)生物學(xué)學(xué)碩，求調(diào)劑 +5 | 丶風(fēng)雪夜歸人丶 2026-03-26 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 一志愿北京化工大學(xué) 070300 學(xué)碩 336分 求調(diào)劑 +9 | vv迷 2026-03-22 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 274求調(diào)劑 +17 | 顧九笙要謙虛 2026-03-24 | 23/1150 |
|
|
|
[考研]
材料學(xué)碩，求調(diào)劑
 6+5
|
糖葫蘆888ll 2026-03-22 | 10/500 |
|
|
[考研] 機械學(xué)碩310分，數(shù)一英一，一志愿211本科雙非找調(diào)劑信息 +3 | @357 2026-03-25 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 086000生物與醫(yī)藥292求調(diào)劑 +6 | 小小陳小小 2026-03-22 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 一志愿 南京郵電大學(xué) 288分 材料考研 求調(diào)劑 +3 | jl0720 2026-03-26 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 總分293求調(diào)劑 +6 | 加一一九 2026-03-25 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 環(huán)境專碩324分求調(diào)劑推薦 +5 | 軒小寧—— 2026-03-26 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 07化學(xué)303求調(diào)劑 +5 | 睿08 2026-03-25 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求b區(qū)院校調(diào)劑 +4 | 周56 2026-03-24 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 284求調(diào)劑 +3 | yanzhixue111 2026-03-23 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 280分求調(diào)劑 一志愿085802 +4 | PUMPT 2026-03-22 | 7/350 |
|